空气分子污染物 (AMC) 对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消极因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。

无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，有助于掌握污染物源头、稳定生产、预防过滤器突发性寿命减少等。

阿瑞斯-µVOC提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案，不需要采样，离线测量。

检测限达到sub-ppb级

特点：

在线连续质量监测全部自动化系统

低浓度VOC监测

独立分开测量有机物成份

Sub-ppb检测限

集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能

应用：

洁净间污染物监测

过滤器状态监测

加工过程全组份测量诊断污染物

阿瑞斯-µVOC 系统专为连续监测、无人值守操作设计，是专业的过程分析工具，16通道采样点可以通过设置自动进样进行分析，每个通道都有报警设置功能，移动式使用功能使阿瑞斯-µVOC 系统成为诊断空气分子污染物AMC的理想工具。

板载标定功能，匹配严格的质量控制规则。

实时显示测量结果，无计算运行。

标配，给提供客户远程联网技术支持服务.

GC气相色谱是分离多种复杂混合物常用的技术，这种技术依赖于挥发性有机混合气体在色谱柱的多组份分离。

当不同的挥发性有机物从色谱柱分离出来后通过氢气/空气火焰离子检测器探测电导率的变化，从而确定不同组份的浓度，独特的吹扫和载气系统可使仪器达到sub-ppb检测限。

可测组份：

2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH

2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH

异丙醇 （CH3）2CHOH

乙醇胺 H2NCH2CH2OH

环己胺 C6H11NH2

环聚二甲基硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)n

对二氯苯 ClC6H4Cl

邻苯二甲酸二壬酯 C6H4(C=OOC9H19)2

邻苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2

十甲基环五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)5

二甲苯 (CH3)2C6H4 

三甲基硅醇 C3H10OSi

（t-乙酸丁脂）二羟基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH

六甲基二硅胺烷 （CH3）3SiNHSi(CH3)3

二乙氨基乙醇 (C2H5)2NC2H5OH

邻苯二甲酸二辛酯 C6H4(C=OOC8H15)2

邻苯二甲酸二乙酯 C6H4(C=OOC2H5)2

邻苯二甲酸二丁酯 C6H4(C=OOC4H9)2

三乙胺（C2H5）3N

邻苯二甲酸二环己酯 C6H4(C=OOC6H11)2

磷酸三乙酯 （C2H5O）3P=O

十二甲基环五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)6

三甲酚磷酸酯 （CH3C6H4O）3P=O

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